最新國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997電子級(jí)超純水（Electronic grade water ）代替GB 11446.1–89

1.范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)超純水的級(jí)別、要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則.

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水．

2.引用標(biāo)準(zhǔn)

下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用麗構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文．本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效．所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性．

GB/T 11446.3—1997 電子級(jí)水測(cè)試方法通則

GB/T 11446.4—l997 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法

GB/T 11446.5—1997 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法

GB/T 11446.6—1997 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法

GB/T 11446.7—1997 電子級(jí)水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測(cè)試方法

GB/T 11446.8—1997 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法

GB/T 11446.9—1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

GB/T 11446.10—1997 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方

3.定義

本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義：

3.1電子級(jí)水electronic grade water

制造電子元器件工藝過(guò)程中所用的高純水．

3.2電阻率resistivity

在規(guī)定溫度下1 cm2水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值．通常用符號(hào)P表示，單位為Ω﹒cm，純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃)．

3.3全硅total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量．

3.4可溶性硅soluble silicon

以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽．

3.5微粒性物質(zhì)granular matter

除氣體以外，以非液態(tài)分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)．

3.6總有機(jī)碳(TOC) total organic carbon

水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量．包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。

3.7吸附absorption

某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力。

3.8凝聚coagulation

在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。

3.9絮凝flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進(jìn)行，可除去水中更細(xì)的微粒。

3.10砂濾器sand filter

用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。

3.11 活性碳過(guò)濾器activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過(guò)濾器，用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過(guò)量的殘余氯。

3.12離子交換ion exchange

一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過(guò)程，該過(guò)程中物質(zhì)并無(wú)實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化．

3.13去離子水deionized water

經(jīng)過(guò)離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。

3. 14再生regeneration

離子交換過(guò)程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學(xué)試劑通過(guò)離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。

3.15復(fù)合床complex bed

將陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過(guò)兩個(gè)柱而被純化，復(fù)合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡(jiǎn)單。

3.16混合床mixed bed

將陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當(dāng)于許多組合床串聯(lián)使用，出水質(zhì)量好但再生比較麻煩．

3.17電滲析electrodialysia

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽(yáng)兩極之間用交替排列的陰、陽(yáng)離子交換膜分隔成一系列小室，水流通過(guò)小室時(shí)，在直流電場(chǎng)作用下，水中陽(yáng)離子向陰極方向移動(dòng)，但不能通過(guò)陽(yáng)膜；陰離子則相反．這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。

3.18反滲透reverse osmosis

亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進(jìn)行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開(kāi)，并在濃水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力，則濃水中大部分水透過(guò)半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達(dá)到分離提純的目的．

3.19反滲透膜reverse osmosis membrane

用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0. 02 μm或更小，可用于除去無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等，使水純化。

3. 20微孔膜濾器membrane filter

一種平均孔徑（直徑）大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

3.21超過(guò)濾uhrafihration

一種過(guò)濾方法，在一定壓力下使水流通過(guò)超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等．

3.22終端terminal

高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過(guò)各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn)。

4 分類

4.1電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別；I級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。

4.2標(biāo)記

I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-I；

II級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為；EW-Ⅱ；

III級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為；EW-Ⅲ；

Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為.EW-Ⅳ。

5 要求

電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。

表1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)

6試驗(yàn)方法

6.1電阻率

電子級(jí)水的電阻率按GB/T 11446.4–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定．

6.2全硅含量（以二氧化硅計(jì)）

電子級(jí)水全硅（以二氧化硅計(jì)）含量按GB/T 11446.6–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。

6.3微粒數(shù)

電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定．

6.4細(xì)菌總數(shù)

電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。

6.5痕量金屬含量

電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T 11446. 5–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。

6.6氯離子，硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級(jí)水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7–

1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定．

6.7總有機(jī)碳含量

電子級(jí)水中總機(jī)碳含量按GB/T 11446.8–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。

7 檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢驗(yàn)部門

電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在制造廠的水質(zhì)檢驗(yàn)部門進(jìn)行．

7.2檢驗(yàn)分類

電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)．

7.3交收檢驗(yàn)（抽驗(yàn)項(xiàng)目）

7.3.1電子級(jí)水技術(shù)指標(biāo)中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計(jì)）為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。

7.3.2在用水終端采樣試驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有一項(xiàng)指標(biāo)不

合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4例行檢驗(yàn)（全檢項(xiàng)目）

例行檢驗(yàn)每年進(jìn)行一次，當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。

7.4.1檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部技術(shù)指標(biāo)要求．

7.4.2在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)以上不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格．

8采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志

8.1 電子級(jí)水的采樣、貯存運(yùn)輸按GB/T 11446. 3–1997的規(guī)定．

8.2標(biāo)志;在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證，合格證應(yīng)注明；

a) 名稱及級(jí)別;

b) 各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo);

c) 制水單位;

d) 供水日期；

e) 檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期．